Osnovno načelo visoko{0}}natančnih senzorjev je pretvorba izmerjene količine v natančen, stabilen in zanesljiv električni signal z natančno zasnovo, naprednimi proizvodnimi postopki, zapletenimi algoritmi za obdelavo signalov in strogimi tehnikami kompenzacije napak. Ključni vidiki doseganja visoke natančnosti vključujejo: optimizacijo osnovnih principov zaznavanja, visoko{2}}zmogljive materiale in natančne strukture, napredne proizvodne procese (kot je MEMS), nizek-šum, visoko-natančna elektronska vezja, temperaturno kompenzacijo, nelinearnost in linearizacijo, kalibracijo in standardizacijo, digitalno obdelavo signalov in zatiranje motenj ter ščit. Glavna ideja je globoko razumeti in kvantificirati vse možne vire napak ter aktivno odpraviti ali kompenzirati te napake s skupnim oblikovanjem strojne in programske opreme.
Na področju natančne proizvodnje in nadzora se visoko{0}}natančni senzorji uporabljajo za visoko{1}}natančne meritve pomikov, dimenzij in površinske topografije, kot je kontaktni senzor tipa GT2-P12KL-pen za mikronsko zaznavanje.
Na področju nadzora in spremljanja procesov se visoko{0}}natančni senzorji uporabljajo v težkih industrijskih okoljih, kot sta kemična in energetska industrija, za zelo zanesljivo spremljanje ključnih procesnih parametrov, kot so tlak, temperatura in stopnja pretoka, kot so visoko{2}}natančni tlačni senzorji OMEGA serije PX409.
